Microsystems Technology
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Innovative Materialien

Wir untersuchen fundamentale Materialeigenschaften im Hinblick auf potentielle Anwendungen in mikro- und nanotechnisch hergestellten Bauelementen und Systemen sowie in leistungselektronischen Komponenten.

Modellierung und Simulation

Wir untersuchen fundamentale Eigenschaften von Mikro- und Nanoresonatoren

Bauelemente und Systeme

Wir entwickeln und fertigen neuartige mikro- und nanotechnologisch hergestellte Bauelemente und Systeme.