Microsystems Technology
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Mikrosystemtechnik

Der Forschungsbereich für Mikrosystemtechnik am Institut für Sensor- und Aktuatorsysteme beschäftigt sich mit der Modellierung, Simulation, Herstellung und der Analyse von komplexen dreidimensionalen Strukturen im Mikro- und Nanometerbereich. Unser Ziel ist es innovative Sensorkonzepte zu entwickeln sowie bestehende Systeme hinsichtlich ihrer Robustheit, Zuverlässigkeit und Flexibilität zu optimieren.

Weitere Informationen finden Sie unter Forschungsschwerpunkte und unter Publikationen/Patente.

Das Team

Kontaktinformation des gesamten Teams finden Sie hier.

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