Microsystems Technology
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Lehre

Bachelor Lehrveranstaltungen

  • VUOrientierung ETIT (350.002) - Semester: WS/SS
    Diese - verpflichtende - Lehrveranstaltung gibt den Studienanfängerinnen und -anfängern einen Überblick zum Fachgebiet der Elektrotechnik und zum Studium der Elektrotechnik und Informationstechnik.
  • VOSensorik und Sensorsysteme (366.071) - Semester: WS
    In dieser Vorlesung werden Sie grundlegende Herstellungsverfahren von Mikrosystemen kennenlernen und ein Verständnis für die physikalischen Effekte entwickeln, welche vielen Mikrosensoren zu Grunde liegen.
  • VUFachvertiefung - Mikrosensortechnologie (366.074) - Semester: WS
    Im Rahmen dieser LVA können Sie moderne Fertigungsverfahren der Mikrosystemtechnik hautnah kennenlernen und selber Hand anlegen. Zur Vorbereitung auf den praktischen Teil wird ein Seminar abgehalten.
  • VOWerkstoffe (366.104) - Semester: WS
    In dieser LVA lernen Sie die Zusammenhänge zwischen Aufbau und Eigenschaften von Werkstoffen anhand einfacher und weitgehend universell gültiger physikalischer Modellbilder kennen. Zusätzlich werden Grundkenntnisse über Größenordnungen der betreffenden Werkstoffeigenschaften vermittelt.
  • UEPraktische Einführung in die Methode der Finiten Elemente (366.106) - Semester: SS
    Nach einer Einführung in die Grundagen der Methode der Finiten Elemente werden die Kenntnisse anhand von praktischen Übungen vertieft.

Master Lehrveranstaltungen

  • VUMikrosystemtechnik (366.085) - Semester: SS
    In dieser Vorlesung werden Sie ein grundlegendes Verständnisses zu den fachlichen Grundlagen von mikrotechnisch hergestellten sensorischen und aktorischen Bauelementen und Systemen in Hinblick auf aktuelle und zukunftsorientierte Anwendungsgebieten entwickeln.
  • VUMaterialien, Prozesse und Technologien der Mikrosystemtechnik (366.086) - Semester: SS
    In dieser Vorlesung lernen Sie alternative Materialien zu Silizium in der Mikrosystemtechnik kennen mit einem Schwerpunkt auf Siliziumkarbid.
  • VOAktorik (366.087) - Semester: WS
    Im Rahmen der Vorlesung werden Aktorprinzipien der Mikrosystemtechnik und die dafür notwendige Grundlagen der Mechanik und Fluidik vermittelt.
  • UELabor Mikrosystemtechnik (366.088) - Semester: WS/SS
    Vertiefende Laborübung zu aktuellen Aufgabenstellungen in den Bereichen Technologie und Messtechnik von Bauelementen der Mikrosystemtechnik.
  • VOMikro- und Nanosystemtechnik (366.090) - Semester: WS
    Vorstellung industrierelevanter, aktueller Themen aus dem Bereich der Mikro- und Nanosystemtechnik durch Vorträge von Industrievertretern. Diskussion der unterschiedlichen Konzepte.
  • SEMikrosystemtechnik (366.091) - Semester: WS/SS
    Eigenständiges Erarbeiten eines abgegrenzten, aktuellen Themenbereiches der Mikrosystemtechnik. Diskussion und Bewertung der Ergebnisse aus der einschlägigen Fachliteratur.
  • VOTheorie, Modellierung und Simulation mikro- und nanoelektromechanischer Systeme (MEMS/NEMS) (366.103) - Semester: WS
    Diese Vorlesung vermittelt die nötigen theoretischen, mathematischen und numerischen Grundlagen zur Simulation und Modellierung von Mikro- und nanoelektromechanischen Systemen (MEMS/NEMS).
  • VOProzesstechnologien der Mikroelektronik, Photonik und der Mikrosystemtechnik (362.144) - Semester: WS
    In dieser LVA werden Kenntnisse der Schlüsselprozesse und der Technologiefamilien für die Fertigung moderner Strukturen, Komponenten und Bauelemente der Nanoelektronik, Photonik und Mikrosystemtechnik vermittelt.