Microsystems Technology
> Zum Inhalt

MEMS Measurement Lab

Key Equipment

  • Rasterelektronenmikroskop: SEM Hitachi SU8030
  • Rasterkraftmikroskop: AFM Brucker Dimension Edge
  • DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy) Messplatz
  • Laser Doppler Vibrometer

Weitere Geräte

Effusionsmessplatz, elektrische Charakterisierungsmessplätze(IVT, CVT, 3w), Hochfrequenz-Messplatz, Hochtemperatur k-Faktor Messplatz, Impedanzmessplatz

Kontakt

Prof. Ulrich Schmid
Telefon:  +43 (1) 58801 36689
Email:     ulrich.e366.schmid@tuwien.ac.at