Microsystems Technology
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MEMS Technology Lab

Key Equipment

  • Von Adenne Sputteranlage LS730S
  • CVD Equipment EasyTube 3000 LPCVD-Anlage

Weitere Geräte am Institut

Standard Lithografie Equipment, PECVD, DRIE, XeF2 Ätzer, AMMT Ätzzelle

Kontakt

Prof. Ulrich Schmid
Telefon:  +43 (1) 58801 36689
Email:     ulrich.e366.schmid@tuwien.ac.at